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激光測試設備
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產品特點:
通用性:可測量光束位置(直徑高達9mm)、角度(高達180mRad)和功率(無濾波片10µW-5mW)
精確度:低至0.1µm分辨率@50Hz數(shù)字濾波器,位置測量:±15µm和低至0.005µm分辨率,角度測量:±0.125mRad
性能參數(shù):
型號
波長
透鏡焦距
位置分辨率
位置精確度
角度測量范圍
角度分辨率
角度精確度
ALIGN-USB-50
350-1100nm
50mm
≥0.1µm
±15µm
180mRad
0.02mRad
0.5mRad
ALIGN-USB-100
100mm
80mRad
0.01mRad
0.25mRad
所有AlignMeter都是由2個PSD,分光鏡和透鏡等組成
可測波長范圍:350-1100nm
最da測量光斑:50μm-8mm
圖像刷新速率:150Hz
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